SHINSUNG过滤单元EFU-320-BL(D)-ULPA

成立于1977年的SHINSUNG E&G多年在制冷空调、半导体、FPD产业领域的超精密高附加值事业积累的经验和技术。

SHINSUNG主要做的产品有: 制冷空调、半导体、FPD、太阳能电池、高功率太阳能组件等等。

SHINSUNG过滤单元EFU系列技术参数

SHINSUNG过滤单元EFU系列介绍

设备风扇过滤单元（EFU）

在半导体和 FPD 生产设备的顶部或侧面

安装它是为了保持设备内部的压力并提供清洁的空气，以保持设备内部的清洁。

应用领域

ICR 洁净室、ME 设备、腔室

Equipment Fan Filter Unit (EFU)

On top or side of semiconductor and FPD production equipment

It is installed to maintain the pressure inside the equipment and supply clean air to keep the inside of the equipment clean.

Field of application

ICR clean room, ME equipment, chamber

SHINSUNG过滤单元EFU系列其他常用型号：

SHINSUNG EFU5001BL

SHINSUNG EFU320BL

SHINSUNG EFU500OBL

SHINSUNG EFU5000HBL

SHINSUNG EFU321BL

SHINSUNG EFU322BL

SHINSUNG EFU325BL

SHINSUNG EFU326BL

SHINSUNG EFU400BL

SHINSUNG EFU320S-BL

SHINSUNG EFU321S-BL

SHINSUNG EFU-320-BL(D)-ULPA

SHINSUNG Filter Unit NEW + ORIGINAL+ ONE YEAR WARRANTY

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SHINSUNG过滤单元EFU系列EFU-320-BL(D)-ULPA技术参数介绍