PPE密封214-G67P

PPE 成立于 1975 年，总部位于英国布莱克本，在英国和美国设有制造工厂，并在美国、欧洲和亚洲设有销售办事处和渠道合作伙伴网络。该公司的成功基于不断开发新型弹性体材料以及卓越的客户服务和技术支持。

PPE密封214-G67P产品介绍

描述

一种半透明米色化合物，具有半结晶的全氟聚合物纳米填料，专门为满足半导体和生物分析行业的需求而开发。与基于氟的化学物兼容，普遍适用于包括光刻、等离子体、PVD、CVD、蚀刻、剥离和清洗在内的湿法和干法半导体工艺。

Perlast® G67P结合了全氟化聚合物骨架、全氟化纳米填料系统（无无机填料）和高度氟化的交联工艺，从而形成了具有无与伦比纯度和化学耐受性的全氟弹性体。

Perlast® G67P的压缩模量显著低于传统的全氟弹性体，使其具有高度的柔顺性。因此，在给定的压缩下，它表现出低反应力，这导致对密封件的应力较小，从而延长了使用寿命。

关键属性  

极其纯净 - 不含可能导致颗粒化问题的无机填料。

优异的化学和温度耐受性。

优异的机械性能。

极低的放气特性，使其非常适合真空密封应用。

高密封效率。

高材料柔顺性，减少表面渗透。

降低的首片效应。

降低总体拥有成本。

典型应用  

动态密封 - 闸阀、门密封、摆动阀、ISO阀、粘接门和唇形密封。

静态密封 - O形圈、主体密封、腔室盖密封、阴极组件密封、静电卡盘密封和法兰配件。

晶圆处理产品 - 末端执行器垫和真空吸盘

适用于：

湿法和干法半导体工艺，包括：  

光刻

PVD

CVD

蚀刻

剥离

清洗

激光/光学设备

此系列中的其他材料

Perlast G74P（超纯半透明）

Perlast G75H（超纯白色）

Description

A translucent beige compound with semi-crystalline perfluoropolymer nano-filler, specially developed to meet the demands of the semiconductor and bio-analytical industries. Compatible with fluorine based chemistries and universally suitable for both wet and dry semiconductor processes including Lithography, Plasma, PVD, CVD, Etch, Stripping and Cleaning.

Perlast® G67P combines a fully fluorinated polymer backbone, a fully fluorinated nano-filler system (no inorganic fillers) and a highly fluorinated cross-linking process, which results in a perfluoroelastomer with unrivalled purity and chemical resistance.

Perlast® G67P has a significantly lower compressive modulus than traditional perfluoroelastomers, making it highly compliant. So for a given compression, it exhibits a low reaction force, this results in lower stress on the seal, which leads to longer life expectancy.

Key Attributes

Exceptionally pure - does not contain any inorganic fillers which may cause particulation problems.

Excellent chemical and temperature resistance.

Excellent mechanical properties.

Extremely low out-gassing properties making it ideal for Vacuum sealing applications.

High sealing efficiency.

High material compliance reduces surface permeation.

Reduced first wafer effect.

Lower cost of ownership.

Typical Applications

Dynamic seals - gate valves, door seals, pendulum valves, ISO valves, bonded gates and lip seals.

Static seals - O-rings, body seals, chamber lid seals, cathode Assembly seals, electro-static-chuck seals and flange fittings.

Wafer-handling products – end effector pads & vacuum suction pads

Suitable for use in:

Wet and dry semiconductor processes including:-

- Lithography

- PVD

- CVD

- Etch

- Stripping

- Cleaning

Laser/optical equipment

Other materials in this range

Perlast G74P (ultra-pure translucent)

Perlast G75H (ultra-pure white)

PPE配件其他常用型号：

PPE 214-G67P

PPE SEAL NEW + ORIGINAL+ ONE YEAR WARRANTY

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PPE密封214-G67P介绍